深紫外光谱仪：采用阵列波导光栅结构，基于不同波长的光相互间线性干涉原理。多波长光到达阵列波导光栅中，由于长度不同，各阵列波导中产生的相移也不同，不同波导中光产生干涉，在每个出口通道只有特定波长的光。可将从一根光纤线传输来的不同波长的复合光，按照不同波长分开。正向过程是分离过程，逆向过程是复合过程。具有波长间隔小、集成度高、稳定性高、可靠性好等优点。